技术:气动隔膜

特性:

  • 专为半导体行业设计
  • 非金属,流体通道内无O型圈
  • 渗流设计
  • 无金属固定件,如拉杆或支架
  • 有集成脉动均衡器可选
  • 100级净室内组装

技术数据:

  • 机加工的塑料设计,有聚乙烯(PE)和聚四氟乙烯(PTFE)两种材质
  • 优化的聚四氟乙烯(PTFE)隔膜技术
  • 五种尺寸:从10mm(3/8")到38mm(1-1/2")
  • NPT接口
  • 最高耐受温度:200° C(390°F)
  • 精确的流体输送

性能数据:

  • 最大流量:200lpm(52gpm)
  • 最大吸程:干吸4m(13.1'),湿吸9m(29.5')